探针台的系统组成包括：

• 探针台体

• 显微镜

• 观察摄像组件

• 探针座&夹具

• 直流探针

• 开尔文探针

• 射频/微波探针

• 光波探针

• 光学隔振台

• 转接头

• 真空气泵

• 其他升级组件

总体规格特点:

• 重量：30kg

• 尺寸：450mm宽x400mm深x600mm高

• 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。

载台（chuck）规格： 

• 4英寸/6英寸载台，直径101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm

• 载台采用真空吸附方式吸附样品，小吸附样品尺寸为5mmx5mm 

• 载台X-Y轴微调行程101.6mmX101.6mm，微调分辨率1μm

• 载台Z轴方向微调升降10mm，微调分辨率1μm

• 载台水平角度调节范围0°～360°，旋转精度0.01°

• 载台电学独立悬空，可作背电极使用。

针座台面规格:

• U型抛光不锈钢台面

• 针座台面平整度：±3μm

• 可容纳针座数量：4~6个。

显微镜操纵规格:

• 配有摆臂调节机构，可调节显微镜在X-Y任意方向的快速移动

• 显微镜Z轴带有调焦旋钮，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm。

应用场景：

• 直流IV/CV测试  

• Pulse IV测试

• 阻抗测试

• 时域分析测试

• 有源射频测试

• 无源射频/微波测试。